纳米光学及MEMS技术课题组

本课题组致力于纳米光子学及MEMS应用技术研究。通过对人工微纳结构的光学、力学、电学等基本物理性质的尺度效应研究，发展新型微纳器件及其系统应用技术。

主要研究方向：